真空溅射镀膜电源

产品简介 本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
有以下特点：1、恒压，恒功率
　　　　　　2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有的负载匹配能力。
　　　　　　3、工艺重复性好。
　　　　　　4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。
  技术参数   品名 真空镀膜电源
型号 SPWM系列
输入 相数 单相或三相
电压 220/380V
频率 50Hz
输入方式 4线（含地线）
输出 波形 直线
功率 30KW /60KW /100KW（可定制）
电压 0—1200V（可定制）
稳定度 ≤1%
电流 0—200A（可定制）
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 功率 可选择
电压 恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
电流 可选择
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷
外型 外壳  
尺寸(W*D*H) 482.6mm*600mm*266.7mm（30KW）   
重量 30KG（30KW）